Producción y caracterización de películas delgadas de producidas por Sputtering
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Resumen en español
Con este trabajo se estudio las propiedades magnéticas y estructurales del sistema Fe100-xAlx. Las muestras se prepararon por aleamiento mecánico variando la concentración de aluminio y el tiempo de molienda para 24, 36 y 48 horas. Las técnicas experimentales usadas para la caracterización de las muestras obtenidas fueron espectroscopia Mössbauer y difracción de rayos-x. El sistema Fe50Al50 presenta un comportamiento paramagnético con una estructura BCC. Con los polvos obtenidos por aleamiento mecánico se fabricaron blancos (target) de diámetro de una pulgada y espesor de 3 a 4 milímetros. Con los blancos se obtuvieron películas sobre sustratos de vidrio del sistema Fe50Al50 por la técnica de pulverización catódica o sputtering con las siguientes condiciones de crecimiento: potencia 48 vatios, presión de 8 x 10-1 mbar, atmosfera de argón, distancia de electrodos de 2.5 cm. Las películas obtenidas presentan un comportamiento paramagnético con una estructura amorfa con espesores entre 23 y 83 nm.
Resumen en español
With this work, the magnetic and structural properties of the system Fe100-xAlx were study. Samples were prepared by MA varying the aluminum concentration and the milling time by 24, 36 and 48 hours. The experimental techniques used for characterization of the obtained samples were Mössbauer spectroscopy and x-ray diffraction. The Fe50Al50 system presents a paramagnetic behavior with a BCC structure. With the powders obtained by MA were manufactured targets of an inch in diameter and thickness of 3 to 4 millimeters. With targets, were obtained films on glass substrates of Fe50Al50 system by sputtering technique with the following growth conditions: power 48 watts, pressure 10.1 x 8 mbar, argon atmosphere, electrode distance of 2.5 cm. The films obtained have a paramagnetic behavior with an amorphous structure with a thickness between 23 and 83 nm. Keywords: thin film, mechanical alloying, iron, aluminum, sputtering.
